中商情报网讯：电子特气作为特种气体的一种，在电子产品制程中广泛应用于刻蚀、清洗、气相沉积、掺杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、LED及光伏等半导体材料的“粮食”和“源”。
一、电子特气的定义及分类
电子特气是指当气体中的电子浓度非常高时，电子的自由程比气体分子的自由程要短，导致气体分子与电子之间的相互作用显著增强，进而使气体分子电离并形成的一种高度电离的等离子体。电子特气具有高纯度、稳定性、多样性的特点，在电子工业中具有广泛的应用。
电子特气的类型繁多，每种类型都有其特定的用途和化学成分。
资料来源：中商产业研究院整理
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