5.重点企业分析
目前，中国光刻机相关上市企业主要与光刻机零部件有关，其中江苏省分布最多，共8家。广东省和上海市分别为4家和3家，排名第二第三。
资料来源：中商产业研究院整理
6.企业热力分布图
资料来源：中商产业研究院整理
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