中商情报网讯:半导体设备是集成电路产业链自主可控的核心环节,行业进入壁垒高,国际竞争激烈。近年来,中国半导体设备行业保持稳定增长,市场规模持续扩大,资本加速布局。据不完全统计,中国半导体设备行业上市公司达18家。
一、半导体设备产业链环节上市公司整体情况
半导体设备产业链上游为零部件及系统,零部件主要分为轴承、传感器、反应腔喷淋头等;核心子系统包括气液流量控制系统、真空系统、制程诊断系统等。半导体设备上游代表上市企业有华亚智能、富创精密。
产业链中游主要包括光刻机、刻蚀设备、薄膜沉积设备等各类半导体设备,代表上市企业有北方华创、长川科技、至纯科技、中微公司等。
半导体设备产业链下游为半导体制造,包括富乐德、联动科技、金海通等上市企业。
资料来源:中商产业研究院整理