中商情报网讯:我国在全球半导体中的产能份额持续增加,叠加终端需求复苏、国内晶圆厂成熟制程招标采购推进,这些将促使半导体设备行业继续在国产替代的大背景下延续高景气。
一、产业链
中国半导体设备产业链上游为零部件及系统,零部件包括轴承、传感器、石英、边缘环、反应腔喷淋头、泵、陶瓷件、射频发生器、机械臂等,核心子系统包括气液流量控制系统、真空系统、制程诊断系统、光学系统、电源及气体反应、热管理系统、晶圆传送系统、集成系统;中游为各类半导体设备,主要包括光刻机、刻蚀设备、薄膜沉积设备、真空镀膜设备、清洗设备、离子注入设备、涂胶显影设备、CMP设备、热处理设备等;下游应用于半导体制造。
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