精品报告
二、上游分析
1.组成部分
刻蚀机主要包括预真空室、刻蚀腔体、供气系统和真空系统四部分。
资料来源：中商产业研究院整理
2.重点企业分析
刻蚀机主要零部件重点企业包括新松机器人、上海果纳、北京锐洁、上海广川、富创精密、靖江先锋、英杰电气等。
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