3.溅射靶材
在经济快速发展以及技术创新推动下，我国芯片、光伏高新技术产业获得快速发展，随着市场需求不断释放，溅射靶材行业规模将进一步扩大。在应用需求带动下，我国溅射靶材市场规模不断扩大。2021年我国溅射靶材市场规模达375.8亿元，同比增长9.7％。
数据来源：中商产业研究院整理
4.半导体设备
（1）市场规模
中国半导体设备的市场规模增速明显，2021年，中国半导体设备市场连续增长，销售额为1993.35亿元，同比增长达58.1%，连续两年成为全球第一大半导体设备市场。2022年中国半导体规模约为2745.15亿元，2023年将达3136亿元。
数据来源：SEMI、中商产业研究院整理
（2）市场结构
从细分产品来看，光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备为半导体设备主要核心设备，市场占比均在20%以上。其中，光刻机的市场占比为24%、刻蚀机、薄膜沉积设备市场占比均为20%。此外，测试设备和封装设备的市场占比分别为9%、6%。
数据来源：SEMI、中商产业研究院整理
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