（六）刻蚀设备
1、刻蚀设备市场规模
近几年，全球刻蚀设备市场规模持续增长，2022年全球刻蚀设备市场规模约为184亿美元，预计2023年将增至192亿美元。
数据来源：Gartner、中商产业研究院整理
2、刻蚀设备竞争格局
全球刻蚀设备领域中，硅基刻蚀主要被Lam和AMAT垄断，介质刻蚀主要被TEL和Lam垄断。Lam独占47%的市场份额，TEL和AMAT分别占据27%和17%的市场份额
数据来源：Gartner、中商产业研究院整理
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