中商情报网讯:电子特气是半导体制造的关键原材料,被称为“芯片血液”。目前国内电子特气第一梯队的厂商已经具备规模生产能力,在细分领域产品具有一定优势,但和国外龙头企业相比还有较大差距,国产替代空间巨大。
一、电子特气定义
电子特气指的是工业气体中附加值比较高的特殊用途气体。与传统工业气体在纯度和用途上有所区分。特种气体的生产过程中涉及合成、纯化、混合配制、充装、分析检测、气瓶处理等多项工艺技术,流程较为复杂。
电子特气种类众多,广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等环节,被称为集成电路、液晶面板、LED及光伏等材料的“粮食”和“源”,决定了器件的最终良率和可靠性。电子特气主要产品类别如下:
资料来源:中商产业研究院整理