精品报告
中商情报网讯：半导体设备是整个半导体产业的重要支撑产业，得益于半导体全行业的蓬勃发展和国家政策的支持，我国半导体设备市场规模增长迅速。目前，行业下游晶圆厂在关键工艺节点上成功取得量产，多家国内领先的半导体制造企业进入产能扩张期，都为国内半导体设备企业的技术能力提升和产业规模的扩大提供了源动力。
一、产业链
半导体设备产业链中，上游为零部件和系统软件；中游为半导体设备，光刻机、刻蚀机、离子注入机、涂胶显影设备、氧化炉、CMP/CVD/PVD设备、质检及电学检测设备等；下游为半导体产品，主要包括分立器件、光电子器件、传感器和集成电路。
资料来源：中商产业研究院整理
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